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磷化工系列

電子級磷酸


電子級磷酸

性狀:無色粘稠液體(>42℃),密度:1.672g/ml,熔點:42.35℃,沸點:158℃,黏度:85%水溶液。

用途:主要用于大規模集成電路(IC)、薄膜液晶顯示器(TFT-LCD)、半導體等微電子工業,主要用于芯片的清洗和蝕刻;還可制備高純磷酸鹽。

主要技術指標:

指標名稱 E1 E2
濃度(H3PO4%) 85~87 85~87
NO3(ppm) 5 0.5
SO4(ppm) 10 5
Cl(ppm) 1 0.5
Al(ppb) 200 50
B(ppb) - 50
Sb(ppb) 3000 300
As(ppb) 100 20
Ba(ppb) 100 20
Cd(ppb) 100 20
Ca(ppb) 1000 50
Cr(ppb) 100 20
Co(ppb) 100 20
Cu(ppb) 50 20
Fe(ppb) 300 50
Ga(ppb) 100 10
Au(ppb) 100 10
Pb(ppb) 100 20
Li(ppb) 100 10
Mg(ppb) 100 20
Mn(ppb) 100 20
Ni(ppb) 100 20
K(ppb) 100 20
Na(ppb) 500 50
Ag(ppb) 100 20
Sr(ppb) 100 20
Sn(ppb) - 10
Ti(ppb) 100 50
Zn(ppb) 100 50
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