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電子級磷酸
性狀：無色粘稠液體（＞42℃），密度：1.672g/ml，熔點：42.35℃，沸點：158℃，黏度：85%水溶液。
用途：主要用于大規模集成電路（IC）、薄膜液晶顯示器（TFT-LCD）、半導體等微電子工業，主要用于芯片的清洗和蝕刻；還可制備高純磷酸鹽。
主要技術指標：
| 指標名稱 | E1 | E2 |
| 濃度（H3PO4%) | 85~87 | 85~87 |
| NO3(ppm） | 5 | 0.5 |
| SO4(ppm） | 10 | 5 |
| Cl(ppm） | 1 | 0.5 |
| Al(ppb） | 200 | 50 |
| B(ppb） | - | 50 |
| Sb(ppb） | 3000 | 300 |
| As(ppb） | 100 | 20 |
| Ba(ppb） | 100 | 20 |
| Cd(ppb） | 100 | 20 |
| Ca(ppb） | 1000 | 50 |
| Cr(ppb） | 100 | 20 |
| Co(ppb） | 100 | 20 |
| Cu(ppb） | 50 | 20 |
| Fe(ppb） | 300 | 50 |
| Ga(ppb） | 100 | 10 |
| Au(ppb） | 100 | 10 |
| Pb(ppb） | 100 | 20 |
| Li(ppb） | 100 | 10 |
| Mg(ppb） | 100 | 20 |
| Mn(ppb） | 100 | 20 |
| Ni(ppb） | 100 | 20 |
| K(ppb） | 100 | 20 |
| Na(ppb） | 500 | 50 |
| Ag(ppb） | 100 | 20 |
| Sr(ppb） | 100 | 20 |
| Sn(ppb） | - | 10 |
| Ti(ppb） | 100 | 50 |
| Zn(ppb） | 100 | 50 |
